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技術(shù)參數(shù)：
觀(guān)察圖像：正像
光管（選件）：?jiǎn)文磕跨R或雙目目鏡（俯角:25°），十字投影法，帶有TV插板，光通比（目鏡/TV插板:50/50）
角度分度值： 范圍360°， 小讀數(shù)：6′（使用游標(biāo)）
目鏡（選件）：10X,15X, 20X
物鏡：3X（375-037）,W.D:72.5mm 可選: 1X, 5X, 10X，20X,50X, 100X
透射照明
光源：鹵素?zé)襞荩?2V,50W）
光學(xué)系統(tǒng)：帶有可調(diào)整光圈的遠(yuǎn)心照明系統(tǒng)
功能：光強(qiáng)度可調(diào)，無(wú) 亮度調(diào)節(jié)
表面照明
光源：鹵素?zé)襞荩?2V,150W）
光學(xué)系統(tǒng)：帶有可調(diào)整光圈的科勒照明系統(tǒng)
功能：光強(qiáng)度可調(diào)，無(wú) 亮度調(diào)節(jié)
顯示裝置
軸數(shù)：2軸（MF-A型）或3軸（MF-B型）
分辨率：0.001mm/0.0005mm/0.0001mm/.0001″/.00005″/.00001″
功能：調(diào)零,方向轉(zhuǎn)換，數(shù)據(jù)輸出（通過(guò)RS-232C接口）
電源：100/110/120/220/240V AC, 50/60Hz
重量：65.5kg(505C,1010C)/69.5kg(2010C)/130kg(2017C)/138kg(3017C)/144kg(4020C)
性能參數(shù)：
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型號(hào)（XY工作臺(tái)尺寸）
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505C
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1010C
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2010C
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2017C
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3017C
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4020C
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貨號(hào)*
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MF-A
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176-661*
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176-662*
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176-663*
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176-664*
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176-665*
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176-666*
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MF-B
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176-681*
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176-682*
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176-683*
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176-684*
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176-685*
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176-686*
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XY工作臺(tái)行程范圍
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50×50mm
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100×100mm
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200×100mm
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200×170mm
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300×170mm
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400×200mm
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Z軸移動(dòng)范圍
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150mm
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150mm
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150mm
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220mm
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220mm
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220mm
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調(diào)焦方式
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手動(dòng)調(diào)焦（粗調(diào)焦:30mm/rev.,微調(diào)焦:0.2mm/rev.）
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測(cè)量方式
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線(xiàn)性編碼器（2軸型:X/Y軸，3軸型:X/Y/Z軸）
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分辨率（可轉(zhuǎn)換）
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0.001mm/0.0005mm/0.0001mm/.0001″/.00005″/.00001″
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測(cè)量精度（20℃時(shí)）
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XY軸：（2.2+0.02L）μm,L為無(wú)負(fù)載測(cè)量長(zhǎng)度（mm）,JIS B 7153
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指示精度（20℃時(shí)）
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Z軸：（5+0.04L）μm，L為測(cè)量長(zhǎng)度（mm）
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浮動(dòng)功能
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帶有快速釋放功能的X和Y軸
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XY工作臺(tái)臺(tái)面尺寸
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280×280mm
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280×280mm
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350×280mm
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410×342mm
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510×342mm
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610×342mm
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載物玻璃有效尺寸
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180×180mm
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180×180mm
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250×150mm
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270×240mm
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370×240mm
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440×240mm
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旋轉(zhuǎn)功能
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——
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——
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——
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±5°(左)
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±5°(左)
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±3°(左)
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臺(tái)面 大承重
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10kg
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10kg
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10kg
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20kg
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20kg
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15kg
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大工件高度
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150mm
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150mm
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150mm
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220mm
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220mm
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220mm
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